四国テクノブリッジフォーラム

企業概要

企業名

(株)レクザム　香川工場

所在地

761-1494
香川県高松市香南町池内９５８

代表者

代表取締役社長　岡野　普滋

従業員数

600人

資本金

4880万円

主業種

他電子応用装置製造

主要生産品目

制御ユニット、医用機器、ＶＡＮ製品

電話番号

087-879-3131

FAX番号

087-879-6837

ホームページ

http://www.rexxam.co.jp

連絡先

担当者役職

開発部

担当者氏名

角陸　悟

企業ＰＲ

他社と差別化できる技術・製品（その１）

名称

超臨界洗浄・乾燥装置

概要

マイクロマシン、マイクロデバイス等の微細構造物は、製造工程における洗浄・乾燥工程（溶媒除去工程）で生じる僅かな外力（毛細管力・表面張力）で構造が変形や破壊される問題が発生します。変形原因である毛細管力・表面張力は液体と気体のような異相間で発生する力であり、同一相では発生しません。本装置は、毛細管力・表面張力を発生しない超臨界二酸化炭素を用いた超臨界洗浄・乾燥システムであり、微細な構造物の変形を防止し、洗浄・乾燥を行うことが可能です。

主たる用途

マイクロセンサー、マイクロデバイス等の微細構造物の洗浄及び乾燥（溶媒除去）、精密部品等の加工後の洗浄（油分洗浄）、乾燥

特徴・アピール

①弊社の超臨界洗浄・乾燥システムは、従来の「液化二酸化炭素で置換し、超臨界状態にするまでの工程」を「超臨界二酸化炭素で置換する工程」にすることを特徴とします。②圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。③チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるため、処理時間の短縮が可能です。

添付資料

　

他社と差別化できる技術・製品（その２）

名称

　

概要

　

主たる用途

　

特徴・アピール

　

添付資料

　

他社と差別化できる技術・製品（その３）

名称

　

概要

　

主たる用途

　

特徴・アピール

　

添付資料